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低温等离子体技术处理污染物的原理为：在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子安全物质，或使有毒有害物质转变成无毒无害或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev ，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得十分快速。作为环境污染处理领域中的一项具有极强潜在优势的高新技术，等离子体受到了国内外相关学科界的高度关注。
降解挥发性有机污染物(VOCs)传统的处理方法如吸收、吸附、冷凝和燃烧等，对于低浓度的VOCs很难实现，而光催化降解VOCs又存在催化剂容易失活的问题，利用低温等离子体处理VOCs可以不受上述条件的限制，具有潜在的优势。
当含烟废气被风机吸入管道后，首先进入初级装置——净化整流室，采用重力惯性净化技术，室内的特殊结构逐步对大粒径污染物进行分级物理分离，并且均衡整流。分离出的大颗粒油滴在自身重力的作用下流入油槽排出。剩余的小粒径污染物进入次级装置——高压静电场，静电场内部分两级，第一级为电离器，强电场使微粒荷电，成为带电微粒，这些带电微粒到达第二级集尘器后立刻被收集电极吸附，且部分炭化。同时，高压静电场有效地降解有害成份，起到消毒、除味作用。最后通过滤网格栅，洁净的空气排出室外。
等离子有机废气处理设备的优势
与传统的有机废气处理方法相比，等离子有机废气净化器有哪些突出的优点呢？
等离子有机废气净化器在对付有机废气处理上具备以下几点优势：经气味测定法测试，该技术可以达到90%以上的恶臭消除率；该技术的资本投入低于传统的制冷式生物过滤器；动力消耗比其他技术更低(25,000立方米/小时的装置的动力消耗为4-15千瓦)；由于不需要任何的预热时间，所以该装置可以即时开启与关闭；它所占空间比现有的其他技术更小；它可以不经过过滤就可运作，所以不产生任何液体排泄；它是模块式结构，所以更简易地进行易地搬迁；它可以在最高达80℃的温度下运作，所以在典型的“湿”环境中运用而不需要制冷；由于具有类似静电沉淀的功能，所以它同时具有消尘作用；只需最低限度的维护。
